氦質(zhì)譜檢漏儀是對密封容器的泄漏進(jìn)行快速定位和定量測量的儀器。氦質(zhì)譜檢漏方法與氣泡識別法、壓強衰減法和鹵素檢漏等方法相比，具有檢測靈敏度高、速度快和適用范圍寬，此外氦質(zhì)譜檢漏儀選擇無毒、無破壞性、質(zhì)量輕的惰性氣體氦作為探索氣體，所以安全可靠。